美國ALICAT 22系列雙向型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差專利技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。22系列雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥，正向或反向jing確測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現了僅用一臺設備便可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量，以及正壓、背壓。

產品特點 ：

● 數字化產品，雙向流量控制

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板

● 可選高精度：可優于0.5%

● 高量程比 200:1

● 響應時間快 僅需100ms(可調)

● 內置98種氣體

● 可現場標定混合氣體（zui多5種成分），并存儲20種混合氣

技術參數 ：

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”氣體兼容表

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM

量程比：200:1

zui大顯示流量：-100%FS～100%FS

顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / oC / Atm

響應時間：100ms(可調) 預熱時間：