詳細信息：
產品描述：
DRF50單晶硅生長爐
用途：
主要用于二極管單晶硅棒、硅芯原料棒拉制，多晶硅原料的檢測。
主要技術參數(shù)
DRF-50
拉制晶體直徑: Ф3″(Ф80mm)
熔料量 10Kg (10″坩堝)
主爐室內徑 850mm
加熱方式 石墨電阻加熱
籽晶拉速 0.2-8mm/min
籽晶轉速 0-30rpm
坩堝升速 0.02-1mm/min
冷爐極限真空度
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