工作原理：紫外線對細菌或細胞照射使大量細菌或細胞中維持生命的主要構成成分核蛋白中的核酸分子，因大量吸收紫外線而發生性變，已破壞了生理活性，通常認為殺菌效果的紫外線波長是260.0nm，在現有的人工光源中，低壓泵燈的特殊譜線253.7nm與260.0nm接近，所以具有強烈的殺菌效果，但是一般的低壓泵燈雖然在253.7nm處集中了大部分輻射能量，在譜線185.0nm處也具有相當的強度，波長小于200.0nm的紫外線，能被空氣很快吸收而產生臭氧。同時降低超純水的電阻率，因此采用一般低壓泵燈流水殺菌裝置不能滿足電子工業超純水系統的要求。
本裝置采取了特制的高強度無臭氧紫外線殺菌燈和內壁經過特殊處理的微炭臭體不銹鋼筒體，筒體處側特殊拋光處理，使經過預處理的水在流過筒體時受到253.7nm紫外線的足夠線量的照射，具有良好的有效減少了對超純水的影響。